Industria manufacturera
Industria de maquinaria
Procesamiento metalúrgico y de metal
Productos metálicos
Descripción del producto
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.
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