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Ürün/Hizmet Açıklaması

Inline-Anlagen;

AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Vorbehandlungskammern und Sputterkammern. Die Ausrichtung ist vertikal oder horizontal.

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Ürünler

AURION ANLAGENTECHNIK GMBH
HF Systeme für Teilchenbeschleuniger (ACCELOS-SERIE)
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RIE-PRINZIP: CYLOS 160/RIE
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