Cluster-Anlagen
Fertigungsindustrie
Maschinenindustrie
Metallurgische und Metallverarbeitung
Metallprodukte
Produktbeschreibung
Cluster-Anlagen;
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.
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