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Cluster-Anlagen

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Fertigungsindustrie

Maschinenindustrie

Metallurgische und Metallverarbeitung

Metallprodukte

Produktbeschreibung

Cluster-Anlagen;

AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.

Handelsbereiche

National
Regional
Kontinental
International

Produkte

AURION ANLAGENTECHNIK GMBH
HF Systeme für Teilchenbeschleuniger (ACCELOS-SERIE)
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Fertigungsindustrie, Maschinenindustrie, Metallurgische und Metallverarbeitung, Metallprodukte

AURION ANLAGENTECHNIK GMBH
Inline-Anlagen
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AURION ANLAGENTECHNIK GMBH
RIE-PRINZIP: CYLOS 160/RIE
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Fertigungsindustrie, Maschinenindustrie, Metallurgische und Metallverarbeitung, Metallprodukte

AURION ANLAGENTECHNIK GMBH
Cluster-Anlagen
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