Inline-Anlagen
Fertigungsindustrie
Maschinenindustrie
Metallurgische und Metallverarbeitung
Metallprodukte
Produktbeschreibung
Inline-Anlagen;
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Vorbehandlungskammern und Sputterkammern. Die Ausrichtung ist vertikal oder horizontal.
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