AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

AURION Anlagentechnik GmbH - Plazma Teknolojisi = Plazma Sistemleri + RF Bileşenleri AURION Anlagentechnik GmbH 1996 yılının sonuna doğru üç hissedar tarafından kurulmuştur. Şirketin kuruluşuna neden olan fikir, yüzey işleme sektörü için, verimli, maliyet düşürücü ve çevre dostu bileşenler ve komple sistemler üretmekti. AURION, plazma sistemlerinin güç kaynakları için bileşenler geliştirmekte ve üretmektedir. Bunlar arasında otomatik ayarlama üniteli empedans eşleştirme ağlarının yanı sıra filtreler, şalterler, faz kaydırıcılar, güç bölücüler, kablolar ve konnektörler bulunmaktadır. Şirket faaliyetlerinin odağı 13, 56 ve. 27, 12 MHz yüksek frekanslı plazma işleme süreçleridir. AURION, bileşen mühendisliği konusundaki bilgi birikimini temel alarak, yüzeylerin plazma destekli işlenmesi için, yani hem yüzey temizliği hem de modifikasyon için olduğu kadar kaplama ve aşındırma işlemlerinde (PVD, PECVD, RIE, mikrodalga) de kullanılan komple sistemler sunmaktadır.