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Das KIVOS-Konzept: Plasmasysteme

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Descripción del producto

Das KIVOS-Konzept: Plasmasysteme;

KIVOS ist ein sehr flexibles, modulares Konzept für Plasmasysteme. Diese Systeme sind in den verschiedensten Anwendungsbereichen wie zum Beispiel Feinreinigung und Aktivierung von Oberflächen, reaktivem Ionenätzen (RIE) und Beschichtung (PECVD, PVD) einsetzbar. Das Konzept erlaubt AURION die kostengünstige Fertigung von hochentwickelten Produkten zu günstigen Preisen. Von diesem Preisvorteil profitieren unsere Kunden. Ein weiterer Vorteil ist, daß ein einziges System für ganz unterschiedliche Applikationen eingesetzt werden kann.

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AURION ANLAGENTECHNIK GMBH
HF Systeme für Teilchenbeschleuniger (ACCELOS-SERIE)
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Inline-Anlagen
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RIE-PRINZIP: CYLOS 160/RIE
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Cluster-Anlagen
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